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薄膜壓電MEMS壓電相關用語

壓電相關用語

關於壓電相關用語的簡要說明。

用語 說明
壓電(Piezo) 指壓電元件(piezoelectric element、piezoelectric device)
壓電效應 透過施加力(壓力)產生電壓的現象
逆壓電效應 透過施加電壓產生變形的現象
壓電元件 利用壓電效應、逆壓電效應的零件、元件
感測器 利用科學原理將現象和資訊等轉換為電信號等的裝置
致動器 將電等能源轉換為機械運動,用於運行設備的驅動裝置
離子 指因電子過剩或缺失而攜帶電荷的原子
壓電材料 表現壓電性的結晶性物質的統稱
壓電單晶 材料內部的晶體結構均勻連續的壓電材料
壓電陶瓷 擁有晶粒結構或疇壁結構的壓電體
晶粒結構 在多晶體中,2個以上的小晶體之間存在的介面
疇壁結構 晶體記憶體在極化方向不同的邊界的結構
極化 置於電場或磁場時產生正負電化,或是產生磁極的現象
PZT 指鋯鈦酸鉛(PbZrxTi1-xO3)(0<x<1)
濺射 使高能粒子撞擊金屬表面,利用飛出的原子進行制膜的方法
CSD 透過塗布、燒成金屬有機酸鹽或化合物溶液形成薄膜的方法
溶膠凝膠法 CSD的一種。透過對溶膠狀態的液體進行加熱、燒成來得到薄膜的方法
溶膠狀態 以液體為分散介質的膠體(例:肥皂水、漿糊、蛋清、牛奶、美乃滋等)
凝膠狀態 溶膠狀態喪失流動性後的狀態
MOCVD 有機金屬氣相沉積法,使用有機金屬和氣體作為原料的晶體生長方法
占板面積 佔有面積,這裡指設置裝置時使用的面積
壓電體 指透過施加應力產生極化(電壓)的介電體
熱釋電體 即使不從外部施加電場,也可以自發極化的壓電體
鐵電體 從外部施加電場可以使極化方向反轉的熱釋電體
薄膜壓電 指壓電材料的厚度約為幾μm的壓電元件
塊體壓電 指壓電材料的厚度為幾十μm以上的壓電元件

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下頁是關於MEMS及其關鍵技術的簡要說明。

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