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加速度感測器

 

何謂加速度感測器?

加速度是指單位時間內產生的速度,測量加速度的IC就叫加速度感測器。
通過測量加速度,可以測得物體的傾斜、振動等資訊。
加速度單位為 m/s2(國際單位制SI)。
另外,單位G是以標準重力(1 G = 9.806 65m/s2)為基準的加速度值。
還有用於檢測地震震動的加速度的單位Gal(CGS單位制)。

國際單位制SI(法語:Système international d'unités)
由長度m、重量kg、時間s (MKS單位)組合而成的國際單位。

標準重力
物體在重力作用下產生的加速度。物體在自由落體時,物體每單位時間內增加的速度值(9.806 65m/s2)。

Gal
CGS(長度cm、重量g、時間s為基準)單位制的加速度單位。被定義為SI單位制的1/100(1Gal=0.01 m/s2 )。

加速度感測器一般分為低G加速度感測器和高G加速度感測器,如下圖所示。

根據測量範圍分類的加速度感測器

電容式加速度感測器

羅姆集團加速度感測器是採用MEMS技術的電容式加速度感測器。
感測器元件由矽製成的固定電極、可動電極和彈簧構成。未施加加速度的狀態下,固定電極和可動電極間的距離相同。施加加速度後,則可動電極產生位移。由此與固定電極的位置關係發生變化,電極間容量因而變化。容量的變化透過ASIC轉化為電壓,求出加速度。

電容式原理
【電容式原理】

ASIC
Application Specific Integrated Circuit(特殊應用積體電路)
指將特定用途的多個電路功能集成在一起的積體電路。

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