什麼是GaN HEMT?
GaN HEMT中的“HEMT”是“High Electron Mobility Transistor”的首字母縮寫,意為“高電子移動率電晶體”。
高電子移動率電晶體是使用了電子移動率高的半導體材料的電晶體,可實現高速開關(高頻工作)。
GaN HEMT的結構
Si MOSFET是垂直結構,而GaN HEMT是橫向結構。
GaN晶體在Si基板上生長,並在其上形成AlGaN(氮化鋁鎵)層。
當在GaN上生長AlGaN薄膜時,由於壓電效應,很多電子聚集在介面處,形成高移動率的二維電子氣(2DEG:2Dimensional Electron Gas) 層。將這一層用作電流路徑。
之所以使用Si基板,是因為它比其他材料更容易實現大口徑,適合大規模生產。
另外,由於GaN和Si的熱膨脹係數差較大,因此晶體生長後降溫時會產生較大的應力,可能會導致基板破裂。
為了緩和這種應力而設置了緩衝層。
開關損耗
與Si MOSFET相比,GaN HEMT的開關損耗顯著降低。
使用GaN HEMT可以大幅降低開關損耗,從而能夠進一步提高電源系統的效率。
與Si MOSFET相比,
GaN HEMT可大幅降低開關損耗
其他特性比較
下表中對Si SJ(Super Junction)MOSFET、SiC MOSFET和GaN HEMT等功率元件的一般特性(650V電壓級)進行了比較。
從表中可以看出,在適用GaN HEMT的中等耐壓、中等功率範圍,其開關特性優勢顯著。
Si SJ MOSFET | SiC MOSFET | GaN HEMT | |
---|---|---|---|
耐壓 | 650V | 650V | 650V |
支援大電流 | 〇 | 〇 | △ |
高速開關特性 | △ | 〇 | ◎ |
Ron・Qg*1 | 1*2 | 0.63 | 0.1 |
開關速度 | 1*2 | 2 | 10 |
Qrr*3 | 0.73μC | 0.25μC | 0nC |
*1:表示開關性能的指數。該值越小,開關性能越好。
*2:設Si SJ MOSFET的Ron・Qg和開關速度為1。
*3:GaN HEMT是汲-源之間沒有寄生PN結,因此反向導通時的反向恢復電荷為“0”。