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什麼是GaN HEMT?

GaN HEMT中的“HEMT”是“High Electron Mobility Transistor”的首字母縮寫,意為“高電子移動率電晶體”。
高電子移動率電晶體是使用了電子移動率高的半導體材料的電晶體,可實現高速開關(高頻工作)。

GaN HEMT的結構

Si MOSFET是垂直結構,而GaN HEMT是橫向結構。
GaN晶體在Si基板上生長,並在其上形成AlGaN(氮化鋁鎵)層。

當在GaN上生長AlGaN薄膜時,由於壓電效應,很多電子聚集在介面處,形成高移動率的二維電子氣(2DEG:2Dimensional Electron Gas) 層。將這一層用作電流路徑。

什麼是GaN HEMT?

之所以使用Si基板,是因為它比其他材料更容易實現大口徑,適合大規模生產。
另外,由於GaN和Si的熱膨脹係數差較大,因此晶體生長後降溫時會產生較大的應力,可能會導致基板破裂。
為了緩和這種應力而設置了緩衝層。

開關損耗

與Si MOSFET相比,GaN HEMT的開關損耗顯著降低。
使用GaN HEMT可以大幅降低開關損耗,從而能夠進一步提高電源系統的效率。

與Si MOSFET相比,
GaN HEMT可大幅降低開關損耗

開關損耗

其他特性比較

下表中對Si SJ(Super Junction)MOSFET、SiC MOSFET和GaN HEMT等功率元件的一般特性(650V電壓級)進行了比較。
從表中可以看出,在適用GaN HEMT的中等耐壓、中等功率範圍,其開關特性優勢顯著。

Si SJ MOSFET SiC MOSFET GaN HEMT
耐壓 650V 650V 650V
支援大電流
高速開關特性
Ron・Qg*1 1*2 0.63 0.1
開關速度 1*2 2 10
Qrr*3 0.73μC 0.25μC 0nC

*1:表示開關性能的指數。該值越小,開關性能越好。

*2:設Si SJ MOSFET的Ron・Qg和開關速度為1。

*3:GaN HEMT是汲-源之間沒有寄生PN結,因此反向導通時的反向恢復電荷為“0”。

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