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氣壓感測器

 

何謂氣壓感測器?

氣壓感測器是檢測大氣壓力的感測器。
根據要測量的壓力值,壓力感測器具有如下所示的各種材料和方法的感測器。
在這些壓力感測器中,檢測大氣壓力(用於氣壓檢測)的感測器通常被稱為氣壓感測器。

【使用的材料 - 按方式分類的壓力感測器】

使用的材料 - 按方式分類的壓力感測器

氣壓感測器的典型示例是使用矽(Si)半導體的壓阻式。
羅姆提供的氣壓感測器也是壓阻式氣壓感測器。

壓阻式氣壓感測器

壓阻式氣壓感測器使用Si單晶板作為隔膜(壓力接收元件),通過在其表面上擴散雜質形成電阻橋電路,將施加壓力時產生的變形作為電阻值變化,來計算壓力(氣壓)。

【壓阻式氣壓感測器】

壓阻式氣壓感測器

電阻率(電導率)因施加在該電阻上的壓力而變化的現象稱為壓阻效應。羅姆的氣壓感測器IC將使用壓阻式壓力接收元件(隔膜結構和壓阻集成在一起※MEMS),以及溫度校正處理、控制電路等的積體電路(※ASIC)集成在一個封裝裡,可以輕鬆獲得高精度的氣壓資訊。

MEMS:Micro Electro Mechanical System(微機電系統)
在一個電路板上集成機械構成部件、感測器、執行機構(驅動部件)等的裝置。

ASIC:Application Specific Integrated Circuit(專用積體電路)
它是一種積體電路,將多個電路功能組合成一個特定應用。

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