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薄膜壓電MEMS
薄膜壓電MEMS
薄膜壓電MEMS
何謂壓電?
壓電(壓電元件)是透過施加力產生電壓或反過來透過施加電壓使之變形的一種元件。
壓電相關用語
對壓電相關的術語進行簡要說明。
何謂MEMS?
MEMS是一種利用微細加工技術將機械零件、電子電路、感測器和致動器集約在一塊電路板上的高附加值元件。
MEMS相關用語
對MEMS相關的術語進行簡要說明。
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